MicroTool EL-3003 电子水准仪晶圆 EL-1503 EL-5003 
品牌：MicroTool
类别：电子水准仪晶圆
型号：EL-Series

公司简介：
MicroTool的产品通过改进关键的晶圆处理操作来提高硅产量和设备正常运行时间。
我们花了数年时间开发用于测量和分析机器人、装载口和其他工厂自动化的设备。
这些系统将“对齐艺术”转化为可重复和可测量的科学。

产品简介：
在不损坏硅片的情况下设置和循环测试您的设备。
这种高科技碳纤维复合材料晶片几乎坚不可摧，按照SEMI标准直径、平整度和凹口规格制造。
碳纤维虚拟晶片也被设计为模仿硅片的重量和结构特性。

提供125150、200、300和450mm SEMI兼容直径。
还可以定制印刷图案和机加工几何形状。
碳纤维材料的重量接近硅片的重量。
晶圆周长和凹口与预对准器兼容。
碳纤维材料几乎坚不可摧。
与真空和边缘抓握末端执行器兼容。

产品介绍：
很快就会成为您工具箱中使用最多的项目！保留所有你的
设备与布鲁克斯的电子水平晶片“在水平面上”。
与硅片的重量相匹配，这款多功能工具
该设计允许在末端执行器和晶片处理刀片上使用
以及晶片盒和石英舟。简单到
使用显示器，您可以向地面或您自己的用户水平
定义的参考平面。直观的图形和触摸屏
简化操作，同时远程实时显示
便于远程调整。

Features:  
> 2-Axis electronic level for leveling to 
ground or to a learned reference 
> Numerical readout for both pitch and 
roll allows for statistical analysis and 
calibration to specification  
> Intuitive graphics screens and touch 
screen LCD simplify operation 
> Adjustments can be made 
conveniently using the remote real
time display 
> Carbon fiber wafer mimics the 
geometry and weight of a silicon wafer 
> New high resolution, high accuracy 
electronic level 
> New low profile – fits through more slit 
valves 
> Fast settling time 
> Improved software with user setup 
capabilities 
> Settable tolerances w/ graphical 
pass/fail indication 
> Data logging allows dynamic studies 
and facilitates monitoring equipment 
over time

其它相关型号：
MicroTool EL-1503   Form Factor：150mm
MicroTool EL-2003   Form Factor：200mm
MicroTool EL-3003   Form Factor：300mm
MicroTool EL-4503   Form Factor：450mm
MicroTool EL-5003   Form Factor：1” X 3” X 3” Block 
MicroTool EL-5003-Reticle    Form Factor：Reticle 
MicroTool LP-3004  300mm Load Port Checker With AMHS Compatibility 
MicroTool FG-3000  Loadport Force Gage